Polvere SiC nera 800# per apparecchiature a semiconduttore – ceramica porosa al carburo di silicio
Nelle apparecchiature per la produzione di semiconduttori, i componenti ceramici ad alte prestazioni sono essenziali. Soprattutto le ceramiche al carburo di silicio sono componenti importanti in apparecchiature chiave come macchine per incisione, macchine per litografia, macchine per impiantazione di ioni, ecc. Ad esempio, ventose per molatura e lucidatura, ventose per fotolitografia, ventose per ispezione, processi di incisione e piattaforme di movimento hanno tutte la presenza di ceramiche al carburo di silicio. Questi componenti ceramici in carburo di silicio hanno una buona stabilità strutturale, stabilità termica, resistenza all’usura, resistenza alla corrosione ed elevata precisione dimensionale. Anche la polvere di carburo di silicio, come materia prima principale per la produzione di ceramiche di carburo di silicio, deve avere proprietà buone e stabili. Tra questi, la polvere SiC nera 800# per ventose ceramiche porose in carburo di silicio è un’applicazione tipica.
Con la produzione raffinata della polvere di SiC, le proprietà fisiche e chimiche e la stabilità delle dimensioni delle particelle hanno fatto progressi significativi. La polvere fine di SiC nera raffinata da screening, lavaggio acido alcalino e lavaggio con acqua, è più adatta per i requisiti di settori high-tech come i semiconduttori. Le caratteristiche specifiche sono le seguenti:
1. Stabilità alle alte temperature.
La polvere di SiC nera ha un punto di fusione e una stabilità termica molto elevati, consentendo alla ceramica porosa di mantenere buone prestazioni in ambienti ad alta temperatura.
2. Elevata purezza.
Dopo il trattamento chimico e il lavaggio con acqua, la polvere di carburo di silicio nero ha un basso contenuto magnetico, un basso contenuto di carbonio libero, una buona fluidità e una facile dispersione.
3. Elevata concentrazione di particelle.
Elevata consistenza delle dimensioni delle particelle, gamma ristretta di particelle di polvere ed elevata densità di impaccamento. Può migliorare la densità della ceramica al carburo di silicio.
4. Eccellenti proprietà meccaniche.
Il SiC nero ha elevata durezza, robustezza ed eccellente resistenza alla compressione. Può migliorare la resistenza meccanica e la resistenza all’usura della ceramica porosa.
5. Forte stabilità chimica.
Il carburo di silicio nero ha una buona resistenza alla corrosione da acidi, basi e dalla maggior parte delle sostanze chimiche. Ciò può migliorare la stabilità chimica e la resistenza alla corrosione della ceramica porosa.
6. Buona conduttività termica.
Grazie all’elevata conduttività termica del carburo di silicio nero, le ceramiche porose possono trasferire e disperdere il calore in modo più efficace.
7. Basso coefficiente di dilatazione termica.
Il carburo di silicio nero ha un coefficiente di dilatazione termica inferiore. Aiuta a ridurre lo stress termico e il danneggiamento della ceramica porosa in caso di variazioni di temperatura.
8. Maggiore resistenza all’ossidazione.
Il SiC nero può migliorare la resistenza all’ossidazione delle ceramiche porose e prolungarne la durata.
In sintesi, l’utilizzo del carburo di silicio nero come additivo o materiale di base per la ceramica porosa può migliorarne significativamente la stabilità alle alte temperature, le proprietà meccaniche, la stabilità chimica e varie altre proprietà. Questi vantaggi lo rendono più ampiamente applicabile in ambienti ad alta temperatura, alta pressione e altamente corrosivi, in particolare nel settore delle apparecchiature per semiconduttori.
