Polvere di carburo di silicio verde nell’industria dei semiconduttori

Con il declino del mercato del taglio del filo di wafer di silicio policristallino e monocristallino solare, il mercato del taglio della polvere di carburo di silicio verde domestico si sta estremamente restringendo. Ma nel campo del taglio del filo semiconduttore, in particolare il taglio del cerchio interno del silicio monocristallino, perché il taglio liquido della linea di taglio in carburo di silicio può proteggere la levigatezza della superficie del wafer da tagliare meglio del taglio solido della linea di taglio del diamante, polvere di carburo di silicio so green http://greensiliconcarbide.com Avere sempre un posto nell’industria dei semiconduttori. Poiché la polvere di carburo di silicio tagliata a filo di semiconduttore ha molti requisiti diversi per le prestazioni del materiale rispetto agli abrasivi tradizionali, vengono proposti anche requisiti più elevati in termini di qualità.

 

  1. Standard di dimensione delle particelle di carburo di silicio verde

Poiché la produzione interna di polvere di carburo di silicio per il taglio di fili semiconduttori è iniziata in ritardo, i produttori nazionali di semiconduttori hanno inizialmente importato prodotti da noti produttori nei paesi sviluppati, come ESK in Germania e FUJIMI in Giappone. Pertanto, alcuni produttori nazionali di polvere di carburo di silicio adottano principalmente gli standard europei (FEPA), gli standard giapponesi (JlS) e gli standard americani (ANSI).

Tuttavia, poiché la maggior parte della polvere di carburo di silicio tagliata a filo di semiconduttore domestico viene esportata in Giappone, lo standard giapponese è ampiamente adottato nel paese. La più grande differenza tra gli standard nazionali ed esteri è che l’indice granulometrico adottato all’estero è aumentato D0 (dimensione massima delle particelle), mentre lo standard nazionale no. In questa fase, lo standard nazionale rimane ancora principalmente nello standard degli abrasivi e degli abrasivi ordinari.

L’industria dei semiconduttori richiede che la distribuzione granulometrica della polvere di carburo di silicio verde sia concentrata il più possibile per soddisfare i requisiti di precisione del taglio del filo.

 

  1. La composizione chimica del carburo di silicio verde

La composizione chimica ha un impatto sulla forma cristallina e sull’effetto d’uso della polvere di carburo di silicio. Maggiore è la composizione chimica, migliori sono le prestazioni complessive.

 

  1. La forma delle particelle di carburo di silicio verde

Essendo una micro polvere tagliata a filo per semiconduttori, la forma delle particelle avrà un impatto significativo sull’effetto di elaborazione del campione. In generale, a differenza del meccanismo di rettifica utilizzato nel processo di rettifica, la polvere di carburo di silicio utilizzata per il taglio del filo semiconduttore deve avere un certo valore di rotondità e le particelle dovrebbero avere bordi e angoli taglienti.

 

  1. Densità apparente del carburo di silicio verde

La densità apparente è un altro importante indicatore della polvere di carburo di silicio. Quando la dimensione delle particelle della micropolvere di carborundum è a livello di micron, la sua area superficiale, l’energia superficiale e l’energia di legame alla superficie aumentano rapidamente. I principali fattori che influenzano la densità apparente della micro polvere sono l’area superficiale specifica, l’energia superficiale, l’energia di legame superficiale e la forza di interazione tra le particelle.

 

  1. Pulizia del carburo di silicio verde

Poiché il truciolo ha un’elevata esigenza di pulizia della superficie, se la superficie del truciolo è contaminata da impurità, il prodotto può essere scartato. Quando si taglia o si lucida il truciolo, è facile introdurre impurità, quindi la pulizia della superficie della polvere da taglio del filo semiconduttore è relativamente elevata. La polvere di carburo di silicio verde produrrà una parte di carbonio durante il processo di fusione. Nel successivo processo di vagliatura, sebbene il carburo di silicio grezzo sia decapato, dopo un’ulteriore macinazione, c’è ancora una parte di carbonio libero nel blocco di carburo di silicio. Il processo di produzione della polvere di carburo di silicio verde è quello di decapaggio dopo la macinazione, evitando il carbonio libero residuo nel tessuto, e la purezza è maggiore (può raggiungere oltre il 99% di SiC)

 

 

  1. Contenuto di residui acidi e alcalini di polvere di carburo di silicio verde

Il processo di produzione generale della polvere micronizzata è il processo di decapaggio. Nell’intero processo, se il lavaggio con acqua non è sufficientemente accurato, sulla superficie delle particelle di micropolvere rimarranno residui acidi e impurità. Questi residui potrebbero non essere evidenti nella fase della micropolvere, ma se vengono trasformati in un prodotto, mostreranno differenze di prestazioni, che influenzeranno il prodotto. qualità.

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