Carburo di silicio verde Micron per la lucidatura di materiale PZT

Il micron di carburo di silicio verde è un tipo di abrasivo non metallico con elevata durezza, elevata resistenza meccanica. Può fare una macinatura aggressiva. Il carburo di silicio verde presenta grandi vantaggi per la rettifica di materiali PZT ( ceramica piezoelettrica ).

PZT è un materiale ceramico funzionale che converte l’energia meccanica ed elettrica l’una nell’altra. Sono ampiamente utilizzati in ottica, semiconduttori, strumenti e altri campi. Tuttavia, le ceramiche sono fragili e difficili da lavorare con la piezoelettricità. Nella fase successiva del trattamento superficiale della ceramica PTZ, la lucidatrice a doppia faccia viene utilizzata per levigare e lucidare il wafer PZT. Generalmente, il trattamento superficiale del PZT, come l’irruvidimento graduato e la rettifica, viene eseguito con carburo di silicio verde da 50 micron, 40 micron, 20 micron e 14 micron. Dopo l’irruvidimento, la superficie del wafer è uniforme senza graffi e la rugosità può raggiungere 1,2-1,5 um. Nella fase di lucidatura fine e macinazione fine, vengono selezionate polveri di corindone bianco da 14 micron, 7 micron e 5 micron per la macinazione fine. La rugosità del prodotto dopo la lucidatura è inferiore a 50 nm.

Per ottenere l’effetto levigante della lucidatura senza graffi, la dimensione delle particelle dell’abrasivo al carburo di silicio verde deve essere rigorosamente controllata. In questa situazione, la dimensione delle particelle dovrebbe essere la stessa possibile e l’intervallo delle dimensioni delle particelle dovrebbe essere ristretto. Se sono presenti particelle di grandi dimensioni, è facile danneggiare la superficie della ceramica. Se ci sono molte particelle fini, ridurrà l’efficienza di macinazione. Pertanto, la polvere di carburo di silicio verde graduata dal trabocco del lavaggio con acqua è l’abrasivo appropriato.